제조 공정 AI 솔루션 ‘알티엠’, 반도체 장비 업체 PSK와 산자부 국책 과제 선정
Reading Time: 2 minutes제조 공정 AI 솔루션 스타트업 알티엠(RTM)이 반도체 장비업체 피에스케이(PSK), 빅데이터 플랫폼 구축업체 유디에스(UDS) 등과 구축한 공동 연구 컨소시엄이 산업통상자원부 주관 ‘2020년도 산업기술 챌린지트랙 차세대 지능형 반도체 기술개발’ 사업 중 ‘실시간 공정 제어가 가능한 원자층 식각장비 개발’ 과제에 최종 선정됐다.
원자층 식각(ALE:Atomic Layer Etching)이란 반도체 제조 공정의 하나로 사진 찍힌(노광) 반도체 회로 패턴을 깎아내는 과정을 의미한다. 회로 패턴이 갈수록 정교해지면서 정밀한 식각이 필요해져 유망 기술로 주목받는 분야다.
이번 국책 과제로 선정된 연구는 기존의 식각 장비로는 어려운 수 나노미터단위의 패턴 구현을 위해 원자 단위로 식각하는 원자층 식각 공정을 개발한다. 더욱 미세해진 공정을 제어하기 위해 실시간으로 공정데이터를 축적하고, 축적한 데이터를 통해 인공지능 기반의 설비 진단 및 제어 시스템까지 개발하는 것이 목표다.
본 국책과제의 개발 기간은 2023년 12월까지 총 42개월이며 사업비는 약 60억 원이다. 피에스케이가 주관하는 이번 국책과제에는 알티엠, 유디에스 이외에도 한양대학교, 중앙대학교, 성균관대학교가 함께 참여한다.
알티엠은 실시간으로 변화하는 미세 반도체 공정 데이터를 바탕으로 공정상태를 진단하는 AI솔루션을 개발할 예정이다. 2018년 6월 설립한 알티엠은 블루포인트파트너스와 킹슬리벤처스로부터 투자를 유치하기도 했다.
피에스케이는 건식 제거(dry strip, 반도체 제조 과정에서 남은 찌꺼기를 날리는 과정) 장비 세계 1위, 뉴 하드 마스크 제거(NHM strip, 하드마스크 막질 제거 과정) 장비를 세계 최초로 개발한 실적을 보유하고 있다. 이를 바탕으로 원자층 식각 공정 및 장비 개발을 담당한다. 유디에스는 실시간 공정 데이터를 적재할 수 있는 데이터 인프라 및 모니터링 솔루션을 개발할 계획이다.
성기석 알티엠 대표이사는 “원자층 식각공정 분야에서는 기존 방식의 한계를 극복할 만한 기술이 부족했고, 미세공정 상태를 실시간으로 진단하고 제어하기 어려웠다”면서, “알티엠을 비롯해 각 분야의 전문 연구기업과 산학협력단이 협업해 향후 원자층 식각장비 분야를 선도하겠다”고 밝혔다.
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