아센디아, 핵융합연구원 기술이전 계약 체결

RF 부품 전문기업 아센디아(ASENDIA)가 한국핵융합에너지연구원(KFE)으로부터 고정밀 RF 파워 측정 기술 ‘DiCoVI 센서’를 이전받는 기술실시계약을 체결했다고 3일 밝혔다.

DiCoVI(Directional Coupled VI) 센서는 플라즈마 장비에 공급되는 고주파 전력 중 실제 공정 챔버로 전달되는 전력을 정밀하게 측정하는 기술이다. 기존 VI 센서가 전압·전류 기반으로만 전력 상태를 파악해 플라즈마 부하 조건에서 측정 정확도에 한계가 있었던 반면, DiCoVI 센서는 방향성 결합(Directional Coupling) 기술을 더해 전달 전력과 반사 전력을 정량적으로 분리 측정함으로써 데이터 신뢰성을 크게 높였다.

아센디아는 이 기술을 자사의 주력 제품군인 RF 매처(Matcher)에 접목해 차세대 임피던스 매칭 시스템을 개발하고 조기 사업화에 나선다. AI 기반 공정 제어 솔루션과의 연계도 추진할 계획이다.

박문수 아센디아 대표이사는 “이번 기술 이전을 시작으로 KFE와의 후속 공동연구 및 기술자문을 긴밀히 이어가 차세대 제품의 양산 체계를 신속히 구축하고 글로벌 시장 경쟁력을 강화하겠다”고 밝혔다.