에이투어스가 포스텍홀딩스의 추천을 받아 ‘딥테크팁스(Deep Tech TIPS)’ 기업으로 선정됐다고 2일 밝혔다. 딥테크팁스는 10대 초격차 분야 유망 스타트업을 발굴·육성하는 프로그램으로, 에이투어스는 이번 선정을 통해 향후 3년간 15억 원 규모의 연구개발(R&D) 자금과 글로벌 시장 진출 지원, 투자 연계 등 다양한 혜택을 받게 된다. 

에이투어스가 보유한 반도체 세정 기술은 초미세 공정으로 갈수록 중요성이 커지고 있는 반도체 산업에서 혁신성을 높이 평가받았다. 특히, 기존 세정 방식과 달리 오존을 발생시키지 않고 인체와 환경에 무해한 하이드록실 라디칼(OH Radical)을 대규모 생성하는 독창적 기술을 적용해 ▲세정 효율 극대화 ▲불순물 제거 성능 향상 ▲환경친화적 공정 구현을 실현할 수 있으며, 나아가 반도체 제조 공정의 수율과 안정성을 크게 향상시킬 수 있는 핵심 기술로 주목받고 있다.

이번에 선정된 에이투어스는 KAIST 기계공학과 이승섭 교수가 창업한 기업으로, 세계 최고 수준의 MEMS(미세전자기계시스템) 기술을 보유했다. 세계 최초로 오존 발생 없는 하이드록실 라디칼 대량 생성 기술을 확보해 물과 공기를 동시에 정화하면서도 인체와 환경에는 영향을 끼치지 않는다. 2025년에 미국 CES 혁신상 수상과 함께 초격차 스타트업 1000+(Dips 1000)에도 선정됐다.

포스텍홀딩스 김지원 심사역은 “에이투어스의 물정전분무 기술은 공기청정과 스마트팜 등에서 이미 활용 가능성이 높았지만, 반도체 세정 분야로 확장되며 글로벌 시장에서의 성장 잠재력이 더욱 커졌다”고 말했다.