원자현미경 제조 기업 멀티스케일인스트루먼트가 중소벤처기업부 ‘딥테크 팁스‘에 최종 선정됐다고 17일 밝혔다. 이번 선정으로 향후 3년간 최대 15억 원 규모의 연구개발 자금을 지원받게 됐다.

딥테크 팁스는 10대 초격차 분야에서 혁신 기술을 보유한 스타트업의 연구·개발과 사업화를 지원하는 민관 협력 프로그램이다. 기술력이 우수한 스타트업을 선정해 3년간 최대 15억 원의 기술개발 자금을 지원하며, 이와 함께 창업사업화 및 해외마케팅 자금 등 연계 프로그램도 제공한다.

멀티스케일인스트루먼트는 자체 개발한 ‘수정 진동자’ 방식의 나노미터 이미징 기술로 차세대 반도체 산업에 최적화된 계측·검사 솔루션을 제공한다. 기존 캔틸레버 방식의 한계를 극복한 수정 진동자 기반 원자현미경은 비접촉·비파괴 측정이 가능해 점점 더 미세해지고 복잡해지는 반도체 공정 단계에서 높은 신뢰성의 검사 장비로 활용될 수 있다.

회사는 서울대 물리학과 제원호 교수가 재직 중 2023년 9월 설립했다. 제 대표는 수정 진동자 기반 정밀 측정 기술 분야에서 20년 이상의 연구 경력을 보유한 세계적 권위자다. 회사는 올해 5월 한국투자액셀러레이터, 블루포인트파트너스, 삼익매츠벤처스 등으로부터 시드 투자를 유치한 바 있다.

원자현미경 시장은 빠르게 성장하고 있다. 글로벌 시장조사기관들에 따르면, 산업용 원자현미경 시장은 2024년 약 6억 달러 규모로 평가되며 2030년까지 연평균 5~7%의 성장률로 8억~10억 달러 규모로 확대될 전망이다. 특히 반도체 산업에서 초미세 공정이 확대되면서 1나노미터급 공정까지 선폭이 좁아지고 있어, 정밀 계측 장비인 원자현미경의 수요가 급증하고 있다.

멀티스케일인스트루먼트의 수정 진동자 기반 기술은 반도체 인라인 공정에 도입될 수 있는 핵심 기술로 평가받고 있다. 회사는 이번 투자금을 바탕으로 비접촉·비파괴 기반의 안정적인 정밀 측정 기술을 한층 고도화하고, 멀티 헤드 원자현미경 설계를 통해 웨이퍼의 이미징 속도를 획기적으로 향상시킬 계획이다.

원자현미경은 원자 간 인력을 감지해 시료의 표면을 나노 단위로 입체적으로 관찰하는 장비다. 기존 광학 및 전자현미경으로는 측정이 어려운 20나노미터 이하의 반도체 공정에서 필수적인 계측 도구로 자리 잡고 있다. 반도체 전공정의 박막 두께, 표면 평탄도, 미세 결함 분석부터 후공정의 본딩, 3차원 패키징까지 활용 범위가 급속도로 확대되고 있다.

제원호 멀티스케일인스트루먼트 대표는 “이번 딥테크 팁스 선정은 새로운 기술을 기반으로 한 산업용 원자현미경의 기술력을 인정받은 결과”라며 “앞으로 국내 및 글로벌 원자현미경 산업 전체의 경쟁력 강화 및 성장에 돌파구를 제공하는 기업이 되겠다”고 말했다.