반도체 In-Line SEM ‘하이케이엠’, 젠엑시스로부터 투자 유치

반도체 In-Line SEM 솔루션 기업 하이케이엠이 젠엑시스로부터 투자를 유치했다고 18일 밝혔다. 금액은 비공개다.

하이케이엠은 반도체 양산공정에서 요구되는 고객 맞춤형 In-Line SEM 솔루션을 개발하는 반도체 계측 장비 기업이다. 주력 제품 BSR-1000은 웨이퍼 배면의 결함을 양산라인 내에서 비파괴 방식으로 관찰·분석할 수 있도록 설계됐다. 기존 외부 분석 의뢰 방식의 시간 지연과 샘플 손상 문제를 줄이고, 반도체 제조사가 공정 이상 여부를 신속하게 확인해 후속 공정 진행 여부를 효율적으로 판단할 수 있도록 지원한다.

하이케이엠은 BSR-1000에 이어 차세대 제품 BSR-2000도 개발 중이다. 고분해능 컬럼, 잔류 미세진동 제어 진공 스테이지, AI 기반 SEM 이미지 분석 등을 결합해 차세대 반도체 공정의 고도화된 계측 수요에 대응하는 것이 목표다. 중장기적으로는 웨이퍼 배면·베벨 검사에서 디스플레이, 배터리 분야로 적용 범위를 확장할 계획이다.

양경모 하이케이엠 대표는 국내외 반도체 제조사 및 장비사에서 35년 이상 반도체 계측과 In-Line SEM 분야 경험을 축적해왔다.

젠엑시스 측은 “반도체 시장이 AI와 고부가가치 메모리를 중심으로 다시 성장 국면에 진입하면서 공정 안정성과 수율을 높이는 계측·검사 기술의 중요성도 함께 커지고 있다”며 “하이케이엠이 첨단 반도체 공정 계측 분야에서 의미 있는 국산 장비 기업으로 성장할 가능성이 크다고 판단했다”고 밝혔다.